FIB（聚焦离子束）微柱加工是微纳米力学测量中实现高精度样品制备的关键技术，其核心在于利用高能离子束对材料进行纳米级加工。以下为具体介绍：

一、FIB微柱加工流程

1. ‌样品选择与定位‌
   通过扫描电子显微镜（SEM）定位目标区域，选择具有代表性的微观结构（如晶粒、界面或多相区域）‌。
2. ‌离子束切割与成型‌
   使用镓离子束逐层剥离材料，逐步形成直径约0.1-5μm、高度为直径2-3倍的微柱结构‌。
3. ‌精细修整与表面处理‌
   通过低电流离子束抛光，减少微柱表面缺陷（如离子注入损伤或非晶层），提升力学测试数据的准确性‌。

二、在微纳米力学测量中的应用

1. ‌原位压缩测试‌
   结合SEM与纳米压痕仪，实时观察微柱在压缩载荷下的变形、滑移和断裂行为，获取弹性模量、屈服强度等参数‌。
2. ‌多尺度力学性能映射‌
   通过加工多个微柱，分析材料不同相或界面区域的局部力学响应（如金属基复合材料中的增强相与基体）‌。
3. ‌高温/极端环境测试‌
   部分系统支持在真空或高温环境下进行力学测试，研究材料在复杂条件下的性能演变‌ 。