扫描电镜成分分析
扫描电镜（SEM）结合能谱仪（EDS）的成分分析技术是一种基于电子束与样品相互作用产生特征X射线的微区元素分析方法。以下为关键点介绍：
一、基本原理
- 激发机制：电子束轰击样品表面时，原子内层电子被激发产生空穴，外层电子跃迁填补空穴并释放特征X射线。
- 能量识别：EDS通过检测特征X射线的能量（与元素原子序数相关）和强度，确定元素种类及相对含量。
二、核心特点
- 非破坏性：样品无需特殊处理即可完成分析，保持原始形貌。
- 快速高效：单次分析可覆盖元素周期表中B-U的元素，检测时间短。
- 微区分析能力：空间分辨率达微米至纳米级别，支持点、线、面分析模式。
- 灵敏度高：可检测低至0.1-1wt%的元素含量。
三、分析模式
- 点分析：针对特定微区（如晶界、夹杂物）进行定性/定量分析，适用于低含量元素检测。
- 线扫描：沿选定路径分析元素含量变化，用于研究涂层、扩散层等梯度成分。
- 面扫描：显示元素在二维空间内的分布，通过颜色亮度反映含量差异（定性）。
四、数据解读
- 能谱图：横坐标为特征X射线能量（keV），纵坐标为光子数（CP）；峰位对应元素种类，峰高与含量相关（需结合标准谱图定量）。
- 元素分布图：通过伪彩色图像直观展示元素富集或缺失区域。
五、应用领域
- 材料科学：金属/陶瓷相组成、界面元素偏析、涂层/镀层厚度分析。
- 失效分析：异物鉴定、腐蚀产物成分检测。
- 生物/地质：矿物成分、生物组织微区元素分布研究。
六、注意事项
- 样品要求：导电性差样品需喷金/碳处理以避免荷电效应。
- 局限性：无法检测H、He、Li等轻元素；化合物结构判定需结合其他技术（如XRD）。
通过上述技术组合，SEM-EDS在材料表征、工业检测及科研领域展现了强大的综合分析能力
